公司名:深圳捷微洛克科技有限公司
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全自動(dòng)和半自動(dòng)GC特氣柜 BSGS特氣柜 VMB特氣柜 TMA特氣柜 Scrubber尾氣處理柜 特氣分配柜 VDB特氣柜 VDP特氣柜
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | JW-200-GC |
| 規(guī)格 | 單瓶/雙瓶 |
| 專用氣柜尺寸 | 雙瓶: W800*D633*H2172 , 單瓶: W600*D661*H2104 |
| 控制柜電源 | 控制電源: 220VAC, 50HZ, 500W, 加熱電源: 220VAC, 50HZ, 1-6KW |
| 吹掃 | PN2,1/4”MVCR |
| 高壓保持 | HPN2,1/4”MVCR |
| 真空 | GN2.1/4” MVCR |
| 排氣 | 1/2” MVCR |
| 氣動(dòng)氣源 | CDA driver, 1/4″ SWG |
| 氣柜通風(fēng)口 | 外徑150MM,硅810m3/小時(shí);其他204m3/小時(shí) |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 自動(dòng)切換、自動(dòng)吹掃、防爆、防泄漏柜體、防爆自鎖門、防爆玻璃觀察窗、泄漏報(bào)警、遠(yuǎn)程斷電、負(fù)壓報(bào)警 |
| 操作界面 | 10英寸彩色觸摸屏 |
可選
*紫外/紅外火焰探測器
*氣缸關(guān)閉裝置
*面板加熱裝置
*以太網(wǎng)通訊模塊
*CGA Guarder 保護(hù)裝置
*過流開關(guān)
*氣缸控制
*稱重秤
*氣缸加熱裝置
特氣柜是一種用于供應(yīng)和管理特種氣體的設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體、LED等新興產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)過程中。這些特種氣體包括易燃、易爆、劇毒等具有一定危險(xiǎn)性的氣體,(SiH4)等。
在CVD(化學(xué)氣相沉積)等生產(chǎn)過程中,特氣柜發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠滿足生產(chǎn)過程中對氣體原材料的高純度和連續(xù)穩(wěn)定供給的要求,確保生產(chǎn)正常進(jìn)行和員工人身安全。特氣柜內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局,使得氣體在傳送過程中經(jīng)過多次自動(dòng)吹掃,避免被氣體雜質(zhì)污染,保證氣體原材料的純度。
此外,特氣柜還具有報(bào)警偵測警報(bào)功能,在緊急情況下會(huì)自動(dòng)安全切斷,保障生產(chǎn)安全和人員安全。全自動(dòng)特氣柜的柜體板材厚度不低于2.5mm,有防腐蝕涂層,柜門關(guān)閉時(shí),氣瓶柜內(nèi)部處于負(fù)壓狀態(tài),柜內(nèi)的排風(fēng)換氣的頻率不低于300次/H,從而確保特氣柜在各種環(huán)境下都能穩(wěn)定運(yùn)行。





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